凈化車(chē)間，亦稱凈化室、凈化車(chē)間、潔凈室或清靜室。凈化室的關(guān)鍵作用為室內(nèi)空氣污染操縱，沒(méi)有凈化室，環(huán)境污染比較敏感零部件不太可能大批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里邊，凈化室被界定為具有空氣凈化、分派、提升、結(jié)構(gòu)原材料和設(shè)備的屋子，在其中特殊的標(biāo)準(zhǔn)的操作流程以操縱氣體飄浮顆粒濃度值，進(jìn)而超過(guò)適度的顆粒潔凈度等級(jí)級(jí)別。

凈化車(chē)間空氣濕度操縱不太好，總有將會(huì)使凈化車(chē)間整體主要表現(xiàn)降低，并且還會(huì)產(chǎn)生下列這種一連串的危害。下面小編就為大家分享為什么凈化車(chē)間一定要控制相對(duì)濕度。

1、病菌生長(zhǎng)發(fā)育。

病菌和別的生物污染(黃曲霉菌，病毒感染，細(xì)菌，滿蟲(chóng))在空氣濕度超出60%的自然環(huán)境中能夠活躍性地繁育。某些有益菌在空氣濕度超出30%時(shí)就能夠提高。而空氣濕度處在40%至60%的范疇中間時(shí)，能夠使病菌的危害及其呼吸道感染降到**少。因此凈化車(chē)間的空氣濕度應(yīng)該操縱在應(yīng)該范疇。

2、空氣濕度操縱不太好，非常容易導(dǎo)致凈化車(chē)間里的金屬腐蝕。

許多放熱反應(yīng)的速率，包含浸蝕全過(guò)程，將隨之空氣濕度的提高而加速。全部曝露在凈化車(chē)間周邊氣體中的表層都迅速地被植物遮蓋上**少一層層單分子層的水。當(dāng)這種表層是由能夠與水反映的薄金屬涂層構(gòu)成時(shí)，高環(huán)境濕度能夠使反映加快。某些金屬材料，比如鋁，能夠與水產(chǎn)生一層層維護(hù)型的化合物，并阻攔深化的氧化還原反應(yīng);另這種金屬材料，比如氧化銅，不是具備維護(hù)工作能力的。在高環(huán)境濕度的自然環(huán)境中，銅制表層更非常容易遭受浸蝕。

3、凈化車(chē)間空氣濕度操縱不太好會(huì)出現(xiàn)靜電作用。

當(dāng)空氣濕度超出50%時(shí)，靜電作用剛開(kāi)始快速消退，可是當(dāng)空氣濕度低于30%時(shí)，他們能夠在導(dǎo)體和*緣體或是未接地裝置的表層上不斷存有很長(zhǎng)過(guò)段時(shí)間。東莞凈化車(chē)間空氣濕度在35%到40%中間能夠做為1個(gè)比較滿意的**合適的，半導(dǎo)體材料凈化車(chē)間通常都應(yīng)用附加的操縱設(shè)備以限定靜電作用的積淀。

4、吸水能力。

空氣濕度操縱不太好，對(duì)凈化車(chē)間吸水能力產(chǎn)出率應(yīng)該的危害。

5、水蒸氣冷疑。

在空氣濕度較高的凈化車(chē)間自然環(huán)境中，萃取水形的毛細(xì)管力在顆粒物和表層中間產(chǎn)生了聯(lián)接鍵，能夠提升顆粒物與硅質(zhì)表層的黏附力。這類效用稱之為凱爾文萃取，就是說(shuō)當(dāng)空氣濕度低于50%時(shí)并不是關(guān)鍵，但當(dāng)空氣濕度在70%上下時(shí)，就變成顆粒物中間粘附的關(guān)鍵能量。

6、凈化車(chē)間的環(huán)境濕度在40%至60%的范疇一樣都是人們覺(jué)得舒服的適當(dāng)范疇。

假如凈化車(chē)間環(huán)境濕度過(guò)過(guò)高使人感覺(jué)憋悶，而環(huán)境濕度小于30%則會(huì)令人覺(jué)得干躁，肌膚干裂，呼吸系統(tǒng)不適感及其感情上的很慢，進(jìn)而危害工作中。

7、凈化車(chē)間光刻的衰退。

在半導(dǎo)體材料凈化車(chē)間中**急需解決適當(dāng)操縱的是光刻膠的敏感度。因?yàn)楣饪棠z對(duì)空氣濕度極其比較敏感的特點(diǎn)，它對(duì)空氣濕度的操縱范疇的規(guī)定是**嚴(yán)苛的?？諝鉂穸群蜏囟柔槍?duì)光刻膠可靠性及其*準(zhǔn)的規(guī)格操縱全是很重要的。乃至是在控溫標(biāo)準(zhǔn)下，光刻膠的黏性將隨之空氣濕度的升高而快速降低。自然，更改黏性，就會(huì)更改由固定不動(dòng)多組分鍍層產(chǎn)生的原膜的薄厚。

除此之外，在高的空氣濕度自然環(huán)境下，因?yàn)樗莸南?，使烤制循環(huán)系統(tǒng)后光刻膠澎漲加劇。光刻膠粘合力一樣還可以遭受較高的空氣濕度的不良影響;較低的空氣濕度(約30%)使光刻膠粘附更為非常容易，乃至不用聚合物瀝青改性劑，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。